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郭泰来很守规矩,就在激光干涉仪的正对面三米的地方坐着,看着实验室的工作人员操作着干涉仪进行测量。
“校准360度视野3D测量机制。”
“开始校准,请指定参考物。”
……
随着一个个的读数读出并记录,郭泰来的360度视野3D测量也在不停的校准当中,这次测量校准,整整持续了一天半的时间,才把郭泰来要测的那些工件的尺寸都测量完毕,而郭泰来的测量机制也在一天之后就彻底完成了校准。
360度视野的测量机制,已经精确到了5纳米,也就是0.005微米。今年一月份上市的奔腾3处理器,采用的是0.25微米的工艺技术,也就是250纳米,可以想象这是一个多高的测量精度。