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“这是非常难得的机会,可能错过这次就不会有下次了,所以我需要你们仔???????????????细思考,给我一份详细的设备清单,尤其是针对下一代光刻机镜头开发所必须的相关设备!”
郑南强调,通过与王国华这些电子厂家负责人谈过以后,郑南知道他们根本不在乎什么国产不国产,他们要的是性能,而以目前落后世界三代以上的投影式光刻机,他们完全看不起,因此郑南必须对光刻机进行快速升级,不惜一切代价抓住机会进行升级。
其中首先要解决的,当然就是作为光刻机最核心部件的镜头。
郑南曾听说过,后世一台光刻机镜头要做到相当于在整个宁海这么大的地方高低起伏不能超过一毫米这么变态。
那么久现在庄卫手磨都能做到的标准显然无法达标,只能上更精密设备,只能借助道格拉斯看有没有办法。
除此之外,郑南还告诉庄卫未来光源系统也会得到升级。
“相信你们都明白,目前我们使用的是高压汞灯,但要是光刻继续往精细方向发展,我们要深紫外光甚至极紫外光,以现在的镜头就远远不够了。”郑南说。
庄卫补充:“不光是镜头问题,还有反射镜,深紫外光和极紫外光都属于波长极短极易被吸收的那种,我们需要对各种镜片进行特殊加工处理,做出全反射镜和全透镜,才能最大程度避免光线在路径上可能出现的损耗。”