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“虽说光刻就像照相一样瞬间就能完成,但并不意味着光刻就整体完成,他可能存在光刻不到位的问题,可如果我们提高光照时间和次数,可能又会带来新的衍射以及过度曝光等问题,我们现在就是要????????????????找到最适合的工艺因子。”
用嘴简单的话语讲解了自己的想法,然后张本松才放其他工程师进来,他们把烘焙好的硅片固定在光刻机上,然后启动光刻,按照张本松的想法进行反复曝光。
这一次他们失败了,硅片在经过刻蚀以后张本松发现在进行了过度曝光后,光刻胶受到很大影响,导致不该被光刻的地方也受到了衍射曝光。
早上方焕志亲自为他们送来早餐,见张本松他们居然一晚上没睡,方焕志严厉批评了张本松。
“你应该知道厂里的制度,我也再三强调你必须休息,你这么经常性熬夜,如果你倒下了,咱南园电子厂的技术攻关还能由谁来主持?你这不仅是对自己的不负责任,更是对厂子发展的不负责任!”
张本松表示虚心接受方焕志的批评,但在早餐结束后,他马上又主持了技术会议。
在会议上,张本松表示尽管这次测试失败了,但他们也并非是完全没有收获,根据最后对硅片的分析表明他们的方向是对的。
“反复曝光的确能有效增加光刻的精准度,接下来我们的任务就是慢慢测试次数和曝光强度以及曝光时长等等,我们要进入更加枯燥反复的测试了。”
等会议结束,方焕志马上拦住所有人,揪出昨晚上没睡觉的张本松一行人,要求他们马上回宿舍休息。
张本松可不干,他表示自己都已经摸到门槛,马上就能搞定投影式光刻了,这时候他可不能下火线。
方焕志却表示他都知道了,接下来都是反复的测试工作:“这些工作任何工人都能完成,难道你张本松还不信任自己带出来的兵吗?到时候你休息好了查看他们的数据就是了。”