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除了ASML的机器,新阳合肥厂还有采购尼康的NSR系列光刻机,也极其先进,但和前者相比就不以为奇了。
核心设备华丽,涂胶显影、烘烤、清洗、环境控制等设备和系统也全都是最先进的。
据邓运兴所知,这就是国内独一份。
他清晰的感受到方总和冰芯的殷殷期盼,但是……
当面对方总的询问,邓运兴还是只能遗憾的保持谨慎。
“我们不好设立一个时间,只能说尽力而为,方总,ArF光刻胶对材料纯净度、稳定性、分辨率的要求极高,我们都得一点点尝试。”
“日本那边即便得益于长期的投入和产业基础,有时候做一做客户验证都需要数年时间。”
“我们……只能说尽力而为。”
邓运兴连说了两遍尽力而为,如果可以,他当然愿意在方总面前打包票,但现实情况真的不允许。
方卓沉默一会,只说了三个字:“我明白。”
邓运兴听到这简短的回答,心里忽然有一些内疚和难过。
“但能尽力而为就不错,只要你们尽力而为,我和冰芯、中芯就能坚持投入,日本这方面的垄断在过去有很大一部分因素在于客户厂商存在门槛。”方卓平静地说道,“现在不存在这个门槛,发展形势是不一样的。”
冰芯过去几年就组织这方面厂商合资了“芯材”公司合作研究,但彼时的精力在于自身竞争力的提升,自然不可能无门槛的与芯材搞客户验证。
时至今日,那个阶段已经过去,现在需要解决的不是竞争力,而是不论成本高低的替代,矛盾点已然不同。
事实上,只要ArF光刻胶取得突破性进展,即便这方面出现限制,斡旋空间也不一样了。
方卓又问:“邓总,你觉得我现在做些什么还能帮到你们?”
邓运兴觉得方总已经做了很多,设备、政策、资金什么的都管够,但这种研发又偏偏急不得。
他恳切地说道:“方总,该做的都做了,别的也没什么,我们就看接下来的研发和验证进度,‘芯材’过去两年还是做了不少成果的,我们是在这个基础上继续前进。”
方卓明白邓总的意思,但他还是争取式地问道:“要是能从JSR和TOK那边挖到部分团队呢?”